JPH0352229B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0352229B2 JPH0352229B2 JP57219036A JP21903682A JPH0352229B2 JP H0352229 B2 JPH0352229 B2 JP H0352229B2 JP 57219036 A JP57219036 A JP 57219036A JP 21903682 A JP21903682 A JP 21903682A JP H0352229 B2 JPH0352229 B2 JP H0352229B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- pinhole
- gate
- drain
- gate line
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10D—INORGANIC ELECTRIC SEMICONDUCTOR DEVICES
- H10D30/00—Field-effect transistors [FET]
- H10D30/60—Insulated-gate field-effect transistors [IGFET]
Landscapes
- Liquid Crystal (AREA)
- Formation Of Insulating Films (AREA)
- Internal Circuitry In Semiconductor Integrated Circuit Devices (AREA)
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57219036A JPS59108359A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 電界効果型トランジスタのピンホ−ル閉塞方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP57219036A JPS59108359A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 電界効果型トランジスタのピンホ−ル閉塞方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS59108359A JPS59108359A (ja) | 1984-06-22 |
JPH0352229B2 true JPH0352229B2 (en]) | 1991-08-09 |
Family
ID=16729244
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP57219036A Granted JPS59108359A (ja) | 1982-12-13 | 1982-12-13 | 電界効果型トランジスタのピンホ−ル閉塞方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS59108359A (en]) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6486113A (en) * | 1987-09-29 | 1989-03-30 | Casio Computer Co Ltd | Manufacture of thin film transistor |
JP3494720B2 (ja) * | 1994-11-01 | 2004-02-09 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置及びその作製方法、ならびにアクティブマトリクス型の液晶ディスプレー及びイメージセンサー |
-
1982
- 1982-12-13 JP JP57219036A patent/JPS59108359A/ja active Granted
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS59108359A (ja) | 1984-06-22 |
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